• 技术详细介绍

    　　一、项目特点


    　　耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。


    　　ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。


    　　F2准分子激光157nm的透过率大于80%。


    　　ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。


    　　二、技术成熟度


    　　掌握了控制性能的关键技术。


    　　除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。


    　　三、应用范围


    　　深紫外光刻、光制导等


    　　四、投产条件和预期经济效益


    　　根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。


    　　五、合作方式


    　　各种研发合作方式。欢迎洽谈。