• 技术详细介绍
    　　本发明提供一种喷淋板,其处理气体的喷出孔结构简单且能容易地加工形成,而且喷出孔尺寸精度高,不发生处理气体的喷出偏差和不均,具有一定品质和互换性。压制成型低介电率陶瓷材料用粉末,将外形尺寸成形为留有烧结收缩余料和精加工余料的圆板状,在该圆板状成形体阶段,在穿设完气体导入通路(3)和喷出孔(2)的成形体用孔后进行烧结,并将气体导入通路(3)和喷出孔主体部分(2B)的表面粗糙度研磨至1S以内,一边使前端部分为前端渐细形状的研磨用线材插通喷出口(2A)并往复移动,一边顺次向线材直径大的方向滑动,由此精加工成直径在0.1以上不满0.3MM范围内,尺寸精度在±0.002MM以内,且表面粗糙度在1S以内。