• 技术详细介绍
    　　本发明涉及一种氢分离膜,具有NIXMYZR100-X-Y(M∶NB和/或TA、 25≤X≤40、25≤Y≤40)的组成,具有通过烧结平均粒径为50ΜM以下的喷雾粉得到的组织。得到所制造的氢分离膜不必使用高价的PD金属,并能代替通过成本高的以往熔融金属的淬火得到的块状金属玻璃,没有氢分离膜的缺陷和组成不均匀的问题,组织均匀,并且能以高效、低成本分离氢的氢分离膜、氢分离膜形成用溅射靶及其制造方法。