• 技术详细介绍
    一种基于桥形柔性机构的五自由度精密定位平台，包括整体呈十字形的刚性基底，刚性基底的四个侧壁分别和菱形位移放大机构的一个刚性输出端连接，菱形位移放大机构的另一个刚性输出端和十字形的桥形位移放大机构的输入端连接，菱形位移放大机构的内部输入端之间连接有堆叠型压电陶瓷，桥形位移放大机构的四个输入端分别与两个上下并列的菱形位移放大机构单元的输出端通过螺栓刚性连接，本发明采用两级位移放大以及不同的驱动组合来实现五个自由度运动，结构简单和紧凑。