• 技术详细介绍
    本发明公开一种增大SYCO‑314薄膜激光感生电压的方法，属于功能薄膜材料领域，在Sr3YCo4O10.5+δ靶材中掺入Ca并通过脉冲激光沉积用Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ多晶靶材在c轴倾斜的单晶衬底上制备Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ外延薄膜，从而获得增大激光感生电压的薄膜；本发明能显著提高Sr3YCo4O10.5+δ薄膜激光感生电压，且重复性好、易于实现。