• 技术详细介绍
    本发明公开一种ITO管状靶材的制备方法，以ITO纳米粉末为原料，利用旋转模具和超声波振动装置对制备好的ITO浆料进行脱水及成型，得到ITO靶材素坯，将该素坯在低温下进行脱脂处理，然后将脱脂素坯在一定的烧结条件下烧结得到ITO管状靶材；其优点在于工艺更容易进行自动化生产，降低了劳动强度和劳动力成本，所制备的ITO旋转靶材产品组织结构均匀、稳定，致密度高，能够满足下游企业的应用要求，具有良好的市场前景。