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技术详细介绍
本项目的产品就是真空领域高端的薄膜生长系统，分子束外延生长系统（MBE）。 集成电路产业需要大量高端薄膜生长设备： 平板显示领域：OLED面板，单价近亿/台，Cannon Tokki 集成电路行业：金属薄膜，单价5000万- 1亿/台， 美国应用材料 太阳能行业 有机照明行业 实验室的分子束外延MBE设备，依赖进口。 每年分子束外延设备的进口台数在几十台，总成交价格在10亿以上。 目前市场上的主要生产厂家，有美国的VEECO、SVTA，法国的Rebel，瑞典的DCA,德国的MBE component,VG，SPECS。这些厂家中，以VEECO，Rebel，为龙头，占据了大约70%以上的市场份额。 上个世纪80年代，MBE作为一种尖端技术，国外就对中国进行了技术封锁，禁运中国。甚至在今天，MBE仍然属于美国对中国出口的管制类产品，每一台都要经过复杂的审批过程。 最近中美的贸易摩擦，导致了再次禁运。由此，我们必须发展中国自主的分子束外延设备。
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