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技术详细介绍采用DPSSL紫外输出激光束,作为激光直写系统的光源,在610mmx800mm的幅面上,直写精密图形,是IT行业中精密图形输出装备。可实时监控激光点的聚焦变化。 支持: 矢量图形、点阵图形直写 应用领域: IT行业,科学研究,激光精密加工 1、精密电路输出 2、显示器电极直写 3、精密掩模输出 4、精密图形加工(精密光刻) 5、材料刻划加工(硅片、聚合物) 性能指标: 输出定位精度:1微米 光点尺寸:5-50微米可调 直写幅面:610mmx800mm 激光波长:355nm(10W) 运行速度:0 - 500mm/s
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