• 技术详细介绍
    一种挡板，包括用于启闭源炉开口的第一遮挡层和第二遮挡层、连接第一遮挡层和第二遮挡层的连接杆，第一遮挡层和第二遮挡层位于源炉开口的同一侧且第二遮挡层较第一遮挡层远离源炉开口。上述挡板，在源炉温度较高时，只会使第一遮挡层具有较高的温度，第二遮挡层的温度相对较低，不会使沉积在第二遮挡层的杂质散发，不会影响衬底上合成材料的质量。