• 技术详细介绍

    　　项目简介：用于半导体、电子电路等行业的零部件缺陷检测及测量，也可用于其它测量设备。



    　　详细介绍：完成沿着X、Y、Z轴上的线性运动；轴式直线电机直接产生直线运动； 精密视觉测量，高速精密免维护。