• 技术详细介绍
    　　项目简介：用于光刻机、半导体加工设备等所需的高速精密小形成直线运动。

    　　详细介绍：无吸力、无齿槽力、无铁芯；采用柔性支撑，零磨损；无换向要求，可超精密直线驱动。