• 技术详细介绍
    摘要：本实用新型涉及一种超精密研磨头装置，包括研磨头(1)和励磁装置(2)，研磨头(1)与励磁装置(2)连接，励磁装置(2)带动研磨头(1)转动并将磁性传递给研磨头(1)；励磁装置(2)内部设置有气体通道(3)，气体通道(3)与研磨头(1)相连通，气体通道(3)内的气流可以经过研磨头(1)从研磨头(1)外表面喷出。本实用新型解决了磁性流体难以有效更换的问题，提供一种超精密研磨头装置。