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技术详细介绍本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置,所述检测方法包括获取平行光,选出双点源,光束经平面反射返回,光束经球面反射返回,返回光束输出,球面反射镜误差检测的步骤,所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机,所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高,对振动、温度、气流敏感小,稳定性高,易于操作并能推广应用。
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最新需求
所属行业: 机械检测
交易价格:面议
类型:专利
技术成熟度:正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN200510120663.8
交易方式: 完全转让
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