• 技术详细介绍

    一种沉降式自蔓延硅氮化物的制备方法，其中包括：将含硅固料由固料入口导入沉降式反应器炉体；将氮气通过气体入口通入炉体；含硅固料和氮气在炉体内进行自蔓延反应生成硅氮化物；硅氮化物沉降至炉体底部后通过出料口输出。本发明的沉降式自蔓延硅氮化物制备方法通过沉降式方式进行制备，可以实现硅氮化物的连续合成。