• 技术详细介绍

    本发明公开了一种回转窑法合成硅氮化物的方法，包括：由回转窑主体上的固体粉末入料口喷入含硅粉末；由回转窑主体上的氮气入口通入氮气；氮气和含硅粉末在回转窑主体内进行自蔓延反应，生成氮化物。本发明的回转窑法合成硅氮化物的方法可以实现硅氮化物的大量连续合成。