一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法

技术简介： 本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁…… 查看详细 >

孔缝八梁式加速度传感器芯片

技术简介： 孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质…… 查看详细 >

一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片

技术简介： 一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片，包括硅质敏感结构，硅质敏感结构的背面与硼玻璃键合，硅质敏感结构包括质量块以及与质量块相连的悬臂梁，在硅质敏感结构上采用物理气相沉积或化学气相沉…… 查看详细 >

复合八梁高频响加速度传感器芯片

技术简介： 复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬…… 查看详细 >

含双传感单元可消除偏心误差的螺杆泵井角速度测量装置

技术简介： 本发明利用物体绕定轴旋转时产生离心力以及梁受力弯曲和应变测力的相关原理与方法，设计了一种含双传感单元可消除偏心安装误差的螺杆泵井角速度测量装置，包括一马蹄形开口式金属壳，安装在马蹄…… 查看详细 >

基于振动信号同步压缩变换的旋转机械瞬时转速估测方法

技术简介： 本发明公开了一种基于振动信号同步压缩变换的旋转机械瞬时转速估测方法，包括以下步骤1)获取旋转机械运行过程中的振动信号；2)对测得的振动信号进行频移处理；3)对频移后的振动信号进行同步压缩…… 查看详细 >

一种摆线针轮减速器针齿转速测量方法

技术简介： 本发明公开了一种摆线针轮减速器针齿转速测量方法，包括以下步骤：1)摆线针轮减速器中的针齿外圆上均匀开设凹槽，然后在各凹槽内填充颜色，以填充有颜色的凹槽作为摆线针轮减速器中针齿外圆的刻…… 查看详细 >

一种转速测量装置

技术简介： 本发明公开了一种转速测量装置该转速测量装置需要将一个条形聚氯乙烯塑料薄片固定在旋转物体上，由于条形电荷旋转经过条形电极时会在电极表面形成有规律的感应电荷，所以新型结构传感器通过多片…… 查看详细 >

一种基于压电特性和静电感应的轴承转动测量装置

技术简介： 本发明公开了一种基于压电特性和静电感应的轴承转动测量装置。该装置包括需要固定在旋转物体上的一个压电薄膜环以及若干个压电薄膜长条、静电传感器、静电信号检测电路、数据采集模块以及分析处…… 查看详细 >

一种爆炸箔起爆器驱动飞片的测速方法

技术简介： 一种爆炸箔起爆器驱动飞片的测速方法，先根据待测爆炸箔起爆器的陶瓷片厚度,设计制作多组陶瓷片，每组陶瓷片中心处含相同直径的加速膛，再集成制备上述多组爆炸箔起爆器；取一组爆炸箔起爆器，…… 查看详细 >

一种改进型狭窄通道内流动测量装置

技术简介： 本发明公开了一种改进型狭窄通道内流动测量装置，属于狭窄通道内流体流动测量装置技术领域。本发明通过设计的毕托管可以测量通道内的流体流动速度以及流动方向；其中，毕托管的总压检测管和静压…… 查看详细 >

离焦数字三维微流场荧光测试仪

技术简介： 离焦数字三维微流场荧光测试仪荧光测试仪包括倒置的荧光显微镜，在荧光显微镜入口光路中设置有物镜，荧光显微镜的侧面接口连接有冷CCD，且在荧光显微镜与物镜之间设置有针孔掩膜板，物镜的上端…… 查看详细 >