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联系人: 厦门大学
所在地:福建 厦门市
项目简介:
用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法,提供一种与商业CMOS工艺兼容,可替代现有850nm光收发器中混合集成,可满足传输要求的用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法。光接收组件设850nm光电单片集成接收芯片、管座、管帽、管脚和适配器。芯片设前置放大电路和光电探测器,前者设2个互阻式放大电路、3级差分放大器、输出缓冲电路和直流负反馈电路。光电探测器的纵向自下而上是低掺杂的P型硅衬底;P阱;N型重掺杂硅层、场氧层和铝层;三层SiO2绝缘介质层;Si3N4表面钝化层。采用CMOS工艺将芯片贴片于管座上;将芯片的焊盘与管脚用金丝线键合连接;盖上管帽,与适配器按同轴封装。
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