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[00137112]数字微镜器件用于表面形貌的跨尺度测量技术
联系人： 华侨大学
所在地：福建 厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
数字微镜器件（DMD）是目前很多投影仪的核心部件，可以实现对入射光线的控制。现在很多加工工具、电子元器件等零件的表面形貌测量非常复杂，而对这些复杂表面形貌的精确表征可以对加工结果、电子器件的性能做出准确的仿真和预测，有利于提高加工水平及产品的性能。将DMD用于表面形貌的测量，无需对测量系统硬件做任何改变，仅通过软件编程就可实现高精度、大范围的跨尺度形貌测量，有方便、快速、精确的优点。
技术特点、技术指标及先进性：测量方法无需改动硬件，可以实现对材料表面高精度、大范围的测量。
应用范围及市场预测：材料几何量测量、表面形貌测量
