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[00137125]白光垂直扫描表面形貌测量仪

交易价格: 面议

所属行业:

类型: 非专利

技术成熟度: 已有样品

交易方式: 完全转让

联系人: 华侨大学

所在地:福建 厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

仪器主要结构包括:显微干涉镜、成像光路及镜筒、光源、CCD、垂直扫描工作台、PZT驱动电源、显示器、工控机等,实验系统如图所示。 仪器技术指标:垂直测量范围40微米;垂直测量分辨率0.010微米;测量面积0.36×0.27毫米2;显微镜数值孔径:0.40;系统横向分辨率:0.5微米;显微镜放大倍数:20×;显微镜工作距离:4.7mm;CCD像素:1280×1024。 应用领域:表面形貌的二、三维测量、MEMS结构测试、刻线和沟槽尺寸测量、台阶测量等。

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