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[00014215]一种刻蚀辅助装置

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:ZL201320035865.2

交易方式: 完全转让

联系人: 厦门大学

所在地:福建 厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  一种刻蚀辅助装置,涉及一种光学材料加工设备。提供采用化学刻蚀方法测定元件亚表面缺陷深度时,能有效避免因溶液浓度不均匀、反应吸放热、反应产生络合物等因素造成测量误差的一种刻蚀辅助装置。包括支架、恒温锅、微型电机、可升缩挂杆、提篮、伸缩管、密封盖、烧杯和加热件;所述恒温锅设于支架下部,微型电机设于支架上部,可升缩挂杆上端与微型电机输出轴连接,可升缩挂杆下端挂住提篮,伸缩管上端与所述上横梁连接,伸缩管下端与密封盖连接,密封盖封盖住烧杯口并夹持住烧杯,所述可升缩挂杆位于伸缩管中,所述提篮位于烧杯内,加热件位于恒温锅底部。所述支架设有底座、立柱和横梁。

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