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[00015741]一种增大金刚石膜沉积面积的方法
联系人： 昆明理工大学
所在地：云南 昆明市
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技术详细介绍
本发明涉及一种增大金刚石膜沉积面积的方法，属于金刚石膜制备技术领域。本发明所述方法首先将基片用含金刚石粉末的乙醇悬浮溶液超声处理45min，然后在丙酮、乙醇和蒸馏水中分别超声清洗10min，最后在氮气环境中干燥。以H2、CH4为反应气体，采用微波等离子体化学气相沉积技术，控制系统压力为4～8kPa，温度为750～900℃，微波功率为5～8kW，甲烷流量为2～6sccm，氢气流量为100～300sccm的范围，并使基片以1～2cm/min的速度呈正四边形运动，从而增大金刚石膜的沉积面积。本发明具有操作简单，设备要求低，实用性强的特点。在低微波功率条件下，实现了金刚石膜沉积面积的增加。
