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[00018285]蓝宝石LED衬底表面缺陷检测和综合评定方法研究

交易价格: 面议

所属行业: 其他电子信息

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 华侨大学

所在地:福建 厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

基于散射共焦显微测量的衬底表面缺陷检测方法:利用光散射法对整个衬底表面2D 测量范围快速扫描,实现宏观信息的获取,再根据缺陷特征的定位,利用共焦层析扫描显微特性获取缺陷个体局部微观3D信息。衬底表面缺陷综合评定方法:重点展开对划痕、裂纹、气泡、坑点、崩角等缺陷的特征分类;基于缺陷特征定量表征,获得表面缺陷的损伤分布规律以及缺陷个体的个性化参数评价。

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