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[00019760]在金属基材上制备硬磁性氧化物涂层的方法
联系人： 河北工业大学
所在地：天津 天津市
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种在金属基材上制备硬磁性氧化物涂层的方法，是用等离子喷涂技术在金属基体材料 上制备MeFei20i9型永磁铁氧体涂层的方法，克服了用现有技术在微系统基材上制得的磁性厚膜的厚度 与磁性不能完全满足微电机械系统需要微型化的永磁材料器件要求的缺陷。本发明方法在金属基材上制 得的硬磁性氧化物涂层厚度易调、制备过程简单、涂层成分稳定不怕氧化。制备过程中操作气氛要求低, 对周围环境友好，无有毒有害物质生成。
市场前景与效益分析：
本发明方法可以在各种不同形状的基材上直接喷涂几微米到数毫米厚度的硬磁性涂层，沉积速率 高；等离子喷涂技术与退火工艺结合，涂层致密，与基体结合强度高，所得工件不带电；基体材料可选 范围广、受热损伤小，可以对基体材料进行大表面积的喷涂，也可以实施有选择性的局部喷涂。本发明 方法所用原料来源广，价格便宜，生产成本较低，促进了磁性膜在微型化电子机械系统中的开发及应用。
