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[00019825]蓝宝石衬底抛光液及应用
联系人： 河北工业大学
所在地：天津 天津市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本项目是为了解决光电器件最好衬底材料之一蓝宝石衬底材料抛光液在抛光过程中存在的衬底片 表面去除速率低、粗糙度高、易划伤等问题，而研发一种化学作用强、去除速率快、表面粗糙度低、无 划伤、成本低，且不污染环境及腐蚀设备的蓝宝石衬底材料抛光液及制备方法。本项目采用具有自主知 识产权的多功能螯合剂作为PH调节剂，同时又可起到缓冲剂、磨料稳定剂、络合及螯合的作用，实现 反应剂一剂多用，降低成本。加工去除速率＞5呻/h,表面粗糙度可降至0.1~0.3nmo
市场前景与效益分析：
随着光电技术的飞速发展，光电产品对蓝宝石衬底需求量日益增加，开发新型的抛光液及抛光技术, 提高光电器件用衬底加工质量，以推进冷光源的应用进程及节能减排的有效实施，并可用于国防、仪器 仪表、红外窗口等领域，因此，市场前景广泛，也为国家光电子工业发展起到很好的促进作用。随着国 家对节能减排任务的提出及对LED产业的大力支持，蓝宝石衬底片需求量越来越大，CMP超精密表面 加工抛光液的需求量也越来越大，因此该项目具有很大的经济和社会效益潜力，价格仅为进口产品的 1/3,效益显著。
