[00021400]基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法

交易价格： 面议

所属行业：

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：

专利号：201510419074.3

交易方式： 完全转让

联系人：武汉大学

所在地：湖北武汉市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法，包括玻璃基片和微流控芯片基片；玻璃基片上集成有两相平行的 P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜条；微流控芯片基片制作有微沟道和分布于微沟道两侧的电极凹槽；微流控芯片基片还设有进样口、出样口和银浆注入口，进样口、出样口与微沟道两端连通，银浆注入口与电极凹槽连通；玻璃基片和微流控芯片基片键合，?P(VDF-TrFE) 电纺丝薄膜条位于微沟道和电极凹槽底部。本发明制作简单，成本低廉，在低流速流体驱动下也有较大信号输出，不仅能测试驱动流体的流速，也能测试驱动流体的粘度系数。

[00021400]基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法

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