X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
APP下载
欢迎光临,请  登录  |  注册
尊敬的,欢迎光临!  [会员中心]    [退出登录]
成果
成果 专家 院校 需求 政策
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[00022003]TiWAlN硬质薄膜及制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201410282805.X

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 江苏科技大学

所在地:江苏 镇江市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
分享
|
收藏
|

技术详细介绍

本文发明公开了一种TiWAlN硬质薄膜及其制备方法,是以高纯Ti靶、W靶、Al靶为靶材,采用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的,薄膜分子式表示为Ti(W,Al,N),厚度在1‑3μm;沉积时,真空度优于3.0×10‑5Pa,以氩气起弧,氮气为反应气体进行沉积,溅射气压0.3Pa,氩氮流量比10:(1‑3);Ti靶溅射功率230‑280W,W靶溅射功率80‑100W,Al靶溅射功率为0‑100W。所得硬质涂层综合具备了高硬度,高耐磨性的优良特点。

推荐服务:

龙岩市科技创新服务平台

福建省龙岩市龙岩大道1号市行政办公中心

联系方式:0597-2601001,400-649-1633

|    关于我们    |    帮助中心    |

Copyright © 2019 龙岩市科技开发与科技特派员服务中心 版权所有

闽ICP备20015298号-1

闽公网安备 35080202351102号