[00022003]TiWAlN硬质薄膜及制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410282805.X
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
江苏科技大学
所在地:江苏 镇江市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本文发明公开了一种TiWAlN硬质薄膜及其制备方法,是以高纯Ti靶、W靶、Al靶为靶材,采用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的,薄膜分子式表示为Ti(W,Al,N),厚度在1‑3μm;沉积时,真空度优于3.0×10‑5Pa,以氩气起弧,氮气为反应气体进行沉积,溅射气压0.3Pa,氩氮流量比10:(1‑3);Ti靶溅射功率230‑280W,W靶溅射功率80‑100W,Al靶溅射功率为0‑100W。所得硬质涂层综合具备了高硬度,高耐磨性的优良特点。