[00022005]一种高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201310215242.8
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
江苏科技大学
所在地:江苏 镇江市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法,其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料,选用高纯Cu靶和Ru靶,固定Cu靶功率为80±10W,在(3-15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量,通过直流磁控共焦溅射方法获得。能得到高热稳定性的无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料并且仍然保持优良的电学性能,更好的保证了其实际应用。本发明操作简单,重复性好,实现效果良好。