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[00022612]柔性场效应晶体管

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201620008969.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 江苏科技大学

所在地:江苏 镇江市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本实用新型公开了一种柔性场效应晶体管,涉及半导体技术领域。所述柔性场效应晶体管包括:间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极,所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接,覆盖于所述半导体导电沟道上的介电层,以及,叠设在所述介电层上的栅极。其中,所述半导体导电沟道采用碳纳米管层或氧化还原石墨烯层。本实用新型通过采用微机电系统加工技术、印刷电子技术与纳米碳材料等相结合,在柔性衬底上制备具有性能良好的场效应晶体管,其结构简单、工艺灵活、成本较低、适于大批量生产。

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