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[00023016]一种磁隧道结及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510582009.2

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 华中科技大学

所在地:湖北 武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开了一种磁隧道结及其制备方法。磁隧道结包括第一电极层,以及依次形成在第一电极层上的第一磁性层、绝缘隧穿层、第二磁性层和第二电极层;第一磁性层和第二磁性层至少其中之一为CoFe(R)/FePt结构;CoFe(R)/FePt结构由CoFe(R)层和FePt层叠加而成,CoFe(R)层较FePt层靠近所述绝缘隧穿层;CoFe(R)层的材料为掺入R的CoFe,R为B、Al和Ni至少其中之一。本发明的磁隧道结能兼顾器件的小尺寸化、高热稳定性及与CMOS工艺的兼容性,因而能广泛应用于传感器、存储装置和逻辑计算装置中。

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