[00023378]一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置
交易价格:
面议
所属行业:
通用零部件
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201010559894.X
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
吉林大学
所在地:吉林 长春市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明公开了一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置,属于超精密加工和光学零件加工等技术领域,适用于具有较大“非回转对称性”的自由曲面金刚石车削创成等。本发明由两个音圈电机分别驱动一个柔性铰链机构,使金刚石刀具在X向和Z向分别作快速往复运动,通过一个压电叠堆执行器驱动一个微调机构以消除在Y向的附加运动;利用两个直线光栅分别检测金刚石刀具在X向和Z向的位移,一个电容传感器检测在Y向的附加位移。本发明具有在X向和Z向上可同时实现高精密大行程快速往复运动的优点。