APP下载
[00023825]一种乙酸乙酯气体传感器及其制备方法
联系人： 吉林大学
所在地：吉林 长春市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成；其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1～1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器，Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷，这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。
