APP下载
[00024265]一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的十字架（+）型激光烧蚀管式炉
联系人： 济南大学
所在地：山东 济南市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的激光烧蚀十字架（+）型管式炉，包括靶材控制系统、载气流量控制系统、衬底加热系统、炉体、十字型石英管、真空获得与控制系统。本发明的激光烧蚀十字架（+）型管式炉具有高真空，靶材更换方便，实验方案灵活多变；能够实时掺杂，沉积速率可调等。（1）通过激光烧蚀十字架（+）型管式炉装置，可在蓝宝石衬底上生长高密度（10/μm2）氧化锌纳米线阵列；（2）通过在衬底上生长一层氧化锌缓冲层，用激光烧蚀十字架（+）型管式炉装置生长低密度（0.1/μm2）氧化锌纳米线阵列；（3）在缓冲层上生长的氧化锌纳米线阵列的密度，随着靶材与衬底之间距离的增大而增大。
