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[00024931]成膜装置和成膜方法

交易价格: 面议

所属行业: 微电子

类型: 专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200680011225.0

交易方式: 完全转让

联系人: 东北大学

所在地:辽宁 沈阳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构,具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系,多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态,该配管系供给输送气体,使得在各有机EL原料容器内,在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时,输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。

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