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[00025004]等离子体处理装置

交易价格: 面议

所属行业: 微电子

类型: 专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200610143929.5

交易方式: 完全转让

联系人: 东北大学

所在地:辽宁 沈阳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明能够实现等离子体处理装置长度方向的等离子体均匀性,同时与多重处理对应。具有多个可变耦合器(12)的微波导管(10)设置在真空室(21)中, 微波发生器(23中发生的微波通过波导管(24导入微波导管(10)中,该室(21)中的等离子体(22)由导入的微波(25)激发后产生。由未图示的驱 动装置,按双向箭头所示的方向上下移动每个可变耦合器(12),能够改变微波导管(10)中微波(25)的强度分布。

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