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[00025409]等离子体处理装置、天线和等离子体处理装置的使用方法
联系人： 东北大学
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供等离子体处理装置、天线和等离子体处理装置的使用方法。等离子体处理装置(10)包括:处理容器(100);输出微波的微波源(900);传送微波的同轴管的内部导体(315A);具有贯通孔(305A),使内部导体(315A)传送的微波透过并放出至处理容器(100)的内部的电介质板(305);和通过贯通孔(305A)与内部导体(315A)连接,在至少一部分与电介质板(305)的基板侧的面邻接的状态下,从电介质板(305)的基板侧的面露出的金属电极(310)。金属电极(310)的露出面中的一个面被电介质盖(320)覆盖。
