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[00027439]铁电存储器用铁电薄膜电容

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200620157557.7

交易方式: 许可转让

联系人: 华中科技大学

所在地:湖北 武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

铁电存储器用铁电薄膜电容公开了一种铁电存储器用铁电薄膜电容,该铁电存储器用铁电薄膜电容依次由硅基底、二氧化硅阻挡层、二氧化钛粘结层、下电极金属层、下缓冲层、铁电薄膜层、上缓冲层、上电极金属层组成;二氧化钛粘结层的厚度为10~30NM;下电极金属层的厚度为100NM~200NM;下缓冲层的厚度为5~20NM;铁电薄膜层的厚度为200NM~500NM;上缓冲层的厚度为100NM~200NM;上电极金属层的厚度为80NM~150NM;下缓冲层、上缓冲层的材料为LSMO超大磁电阻材料,铁电薄膜层的材料为掺TA的PZT。铁电存储器用铁电薄膜电容疲劳速率小,漏电流较小。

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