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[00027917]一种铜铟镓硒（硫）薄膜的硒化硫化装置及方法
联系人： 中山大学
所在地：广东 广州市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种于铜铟镓硒(硫)薄膜的硒化硫化装置，包括石英管、设置在石英管内的反应单元、设置在所述石英管外的加热结构、用于密封所述石英管的管口密封部；所述石英管上设置有与真空泵组连接的连接组件；所述反应单元包括坩埚，所述坩埚上设置有容纳腔、用于密封所述坩埚的密封结构；所述坩埚包括底壁和与底壁形成上方设有开口的容纳腔的侧壁；所述坩埚上设置有用于将所述容纳腔分隔成若干反应腔的分隔壁，所述分隔壁上设置有若干连接相邻反应腔的连通槽，所述连通槽设置在所述底壁的上方。本发明结构简单，操作方便，安全性高，密封性好，蒸汽压稳定，反应均匀，保证了处理后薄膜表面的粗糙度，提升产品质量。
