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[00028014]一种非挥发性无浮栅晶体场效应管存储器

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201520423424.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中山大学

所在地:广东 广州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本实用新型涉及存储技术领域,具体地,涉及一种非挥发性无浮栅晶体场效应管存储器。其包括SrTiO3衬底、设于SrTiO3衬底上的LaAlO3薄膜和分别设于SrTiO3衬底上并穿过LaAlO3薄膜的两个金属电极,两个金属电极分别作为源极S和漏极D,LaAlO3薄膜上设置有作为栅极G的金属电极,SrTiO3衬底与LaAlO3薄膜的界面之间形成二维电子气。本实用新型的LaAlO3薄膜具备了闪存器件结构中的绝缘层和浮栅层的功能,无需采用存储电荷的浮栅层,结构更简单,器件制备工艺会更简化,且可大幅度提高擦写速度。

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