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[00282397]声表面波传感器复合敏感膜的制备工艺
联系人： 中国电科知识产权中心
所在地：北京 北京市
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技术详细介绍
本发明提供一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置
传感器复合敏感膜包括出口对准声表面波器件的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜。本发明还提供了声表面波传感器复合敏感膜的制备工艺，包括：在声表面波器件的上方设置至少两个出口对准声表面波器件的表面的气喷雾沉积装置；根据需要喷涂的复合敏感膜的参数调节好每一个气喷雾沉积装置的工艺参数；所有气喷雾沉积装置同时对声表面波器件进行沉积，在声表面波器件的表面形成复合敏感膜。本发明传感器复合敏感膜的优点在于：本发明的工艺可制备出传统溶液法工艺所不能制备出的复合敏感膜。
