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[00029705]直拉硅单晶在高反压大功率器件中的应用
联系人： 浙江大学
所在地：浙江 杭州市
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技术详细介绍
项目“直拉硅单晶在高反压大功率器件中的应用研究”通过研究直拉硅单晶的杂质和缺陷对高反压大功率器件性能的影响和作用，器件工艺过程中氧杂质和微缺陷的演变和性质，成功地开发出适合于高反压大功率器件的低缺陷、高少子寿命、电阻率均匀性好的4-6英寸直拉硅单晶生产技术，成功地将相对低成本的直拉硅片取代高成本的区熔硅片制造高反压大功率器件，显著地降低了器件的生产成本，达国际领先水平。
本项目在合作单位浙江海纳半导体公司实施后，在1999-2001年间新增产值1.3亿元人民币。仅在华晶集团生产的高反压大功率晶体管，三年间共计降本增效2000余万元，并将相关的国外同类产品基本退出中国市场。
