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[00031565]气体脉冲反应溅射法制备Al2O3阻氚涂层的方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他新材料技术

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201611200119.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川大学

所在地:四川 成都市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开一种气体脉冲反应溅射法制备Al2O3阻氚涂层的工艺,该工艺包括基片预处理、偏压反溅清洗、采用高真空反应磁控溅射设备在CLF‑1基材表面沉积Al2O3阻氚涂层、退火等步骤,溅射工艺中O2流量周期性变化。本发明提供的方法,操作简单,制得的Al2O3涂层具备多层和成分梯度杂化双相结构,退火后α‑Al2O3更容易成相,CLF‑1基体材料氧化程度显著降低。

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