[00031565]气体脉冲反应溅射法制备Al2O3阻氚涂层的方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他新材料技术
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201611200119.9
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川大学
所在地:四川 成都市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
本发明公开一种气体脉冲反应溅射法制备Al2O3阻氚涂层的工艺,该工艺包括基片预处理、偏压反溅清洗、采用高真空反应磁控溅射设备在CLF‑1基材表面沉积Al2O3阻氚涂层、退火等步骤,溅射工艺中O2流量周期性变化。本发明提供的方法,操作简单,制得的Al2O3涂层具备多层和成分梯度杂化双相结构,退火后α‑Al2O3更容易成相,CLF‑1基体材料氧化程度显著降低。