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[00033383]一种基于石墨烯/碳纳米管气凝胶的微型超级电容器制作方法
联系人： 武汉理工大学
所在地：湖北 武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供一种基于石墨烯/碳纳米管气凝胶的微型超级电容器制作方法，包括如下主要工艺对带有二氧化硅层的硅基板进行清洗，然后使用PR1‑9000A光刻胶制作微图案，并采用剥离浮脱工艺制作金的叉指微集流体；利用光刻套刻的方法，制作出与集流体相叠层的SU‑8模具；配制不同质量配比的氧化石墨烯/碳纳米管的分散液，并注入到SU‑8模具中；对注入后所得的分散液叉指结构进行冷冻干燥处理，并对所得的气凝胶叉指结构进行退火还原，以制得还原氧化石墨烯/碳纳米管气凝胶作为微电极的微型超级电容器。本发明制作的产品微型超级电容器，具有较轻的质量、较大的比容量、优异的循环性能、较高的机械稳定性，适于大规模生产等优点。
