[00034629]一种金属原子掺杂的大面积规则外延石墨烯的制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他电气自动化

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710552408.3

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种金属原子掺杂的大面积规则外延石墨烯的制备方法，应用于微电子技术领域。将金属原子引入到SiC的高温裂解过程中，并辅以Ar气氛的保护，不仅可以制备得到大面积规则的外延石墨烯，还可引导外来金属原子直接参与石墨烯片层的生长过程，促使金属原子与C原子之间原子插层或杂化而实现金属原子的掺杂，避免了离子注入对石墨烯整体结构的破坏作用。金属原子束流的预处理是实现掺杂的重要前提，Ar气氛环境抑制了表面孔洞的生成，保证了外延石墨烯样品规则均匀的表面形貌。该发明技术思路简单，可操作性强，是一种稳定有效的金属原子掺杂方法，可为外延石墨烯的优化制备及性能改性提供重要的指导与借鉴。

[00034629]一种金属原子掺杂的大面积规则外延石墨烯的制备方法

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