[00035500]一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法
交易价格:
面议
所属行业:
检测仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610955767.9
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
西安交通大学
所在地:陕西 西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法,该方法利用激光聚焦烧蚀真空腔室内靶材料产生等离子体,通过光学镜头聚焦,光谱仪分光,像增强器呈像测量等离子体光谱。经过多次测量不同气压环境下等离子体光谱,分析找到等离子光谱和气压的关系。利用该关系,通过测量等离子体光谱即可获知真空腔室气压。