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[00035510]一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510044188.4

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 西安交通大学

所在地:陕西 西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及了一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法,该方法采用层片状薄膜试样作为测试样品,采用应变速率可控的纳米压痕仪试验装置,采用纳米压入仪,压头为三棱锥金刚石压头,控制应变速率为0.2s‑1,压入深度为薄膜膜厚的80%或以上,测量在加载结束后压痕截面处膜基间界面裂纹的长度,即可计算出金属纳米多层膜材料的附着能。本方法可以简单、方便、快捷地评价纳米多层膜的附着能,为解决纳米多层膜薄膜附着能力的评估提供了有效途径。

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