[00035712]一种谐振式MEMS全量程倾角传感器

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610244277.8

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种MEMS谐振式全量程倾角传感器，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有单晶硅结构层，单晶硅结构层的中心设有悬浮的多边形质量块，质量块通过至少三对微放大梁分别与双端固定谐振音叉的末端相连接，微放大梁、双端固定谐振音叉呈放射状均匀分布，双端固定谐振音叉的两侧设置有驱动端和检测端，双端固定谐振音叉与驱动端、检测端静电耦合，双端固定谐振音叉的顶端与电极相接，本发明利用微放大梁，有效增大器件的灵敏度，提高测量精度；采用均匀分布的双端固定谐振音叉，通过算法可以实现全量程的高精度测量。

[00035712]一种谐振式MEMS全量程倾角传感器

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