[00036226]一种控制金属纳米Cu/Ru多层膜相结构的方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201510043957.9
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
西安交通大学
所在地:陕西 西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种控制金属纳米Cu/Ru多层膜相结构的方法,该方法是在磁控溅射镀膜过程中,采用慢速率沉积工艺,通过控制铜层和钌层的单层厚度,并通过溅射过程转速、偏压参数的调整,使多层膜的相结构随着铜层和钌层厚度的变化逐渐从fcc/hcp向fcc/fcc过渡,最终演变为hcp/hcp。本发明制备的薄膜结构致密,界面层明晰,可以很容易通过控制不同层薄膜厚度来控制各层成分和界面结构,从而为制备力学性能可控的单相纳米晶材料提供可能。同时,该方法操作简单,成本较低,易于在工业上实现和推广。