[00036778]一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法
交易价格:
面议
所属行业:
铸造/热处理
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610312233.4
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
西安交通大学
所在地:陕西 西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法,先在玻璃基底上溅射ITO导电薄膜,在ITO导电薄膜表面溅射Au膜,再将玻璃基底固定在三坐标工作台上,三坐标工作台和加工光路系统配合,调节皮秒激光器的输出激光参数,辐照Au膜和ITO薄膜,设定三坐标工作台垂直向运动速度,到达设定位置后,水平向移动,之后于垂直向反方向运动,如此反复,加工路径为一条条首尾相接的线段,从而制作出均匀的大面积周期波纹结构,本发明制作的结构提升了薄膜太阳能电池的发电效率。