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[00037575]一种ITO管状靶材的制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 纳米及超细材料

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710025297.0

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 昆明理工大学

所在地:云南 昆明市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开一种ITO管状靶材的制备方法,以ITO纳米粉末为原料,利用旋转模具和超声波振动装置对制备好的ITO浆料进行脱水及成型,得到ITO靶材素坯,将该素坯在低温下进行脱脂处理,然后将脱脂素坯在一定的烧结条件下烧结得到ITO管状靶材;其优点在于工艺更容易进行自动化生产,降低了劳动强度和劳动力成本,所制备的ITO旋转靶材产品组织结构均匀、稳定,致密度高,能够满足下游企业的应用要求,具有良好的市场前景。

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