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[00039729]带人工磁导体结构的高增益太赫兹天线
联系人： 南京大学
所在地：江苏 南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
带人工磁导体结构的太赫兹天线，利用CMOS工艺后端的多层金属工艺制造人工磁导体结构；天线具有六层金属，从最底到最上层分别为M1～M6层；使用M6制作天线，并通过通孔连接到由MOSEFTs器件构成的太赫兹传感器上；使用M1和M2制作人工磁导体底板来代替原有的光滑底板；底板M1为金属平板，M2金属层制备成周期性金属结构，M2层为正方形周期性金属块结构，正方形金属块边长L为5-8μm，正方形金属块周期间隔约为43-45μm，正方形金属块中心通过中心柱与底板相连，中心柱的尺寸是正方形金属块边长的1/10-1/5；M2金属层制备成周期性金属结构和M1平板之间组成一个等效的LC振荡电路。
